MEMS Foundry service
MEMS foundry service
EPG MEMS FOUNDRY BUSINESS
서비스 개요
- 사업내용
- MEMS 단위&일괄공정, R&D서비스, 제조, 분석서비스
- 추진체계
- 대학 및 MEMS 관련 Fab center 들과 연계한 MEMS Business
서비스 개요
-
MEMS 공정설계
- MEMS 공정검토 및 설계
- Mask 설계 및 제작
- MEMS 공정 Consulting
-
MEMS 단위공정
- Patterning process
- Deposition process
- Diffusion process
- Etching process
- Plating process
- etc
-
MEMS 일괄공정
- MEMS Structure
- Wafer level package
- TSV process
- Bumping, RDL process
- Needle, Tip(Ni-Co EP)
- COG
- etc
